微機電系統(tǒng)工程專業(yè)是以機、電技術，尤其是微機械為基礎的，綜合多種學科領域技術的新型交叉學科。本專業(yè)的研究領域主要有微傳感器、微加速度計、微陀螺和微慣導系統(tǒng)、微光學器件、微測量技術等。

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)在光、機、電技術一體化方面的優(yōu)勢和研究成果為微機電系統(tǒng)技術方面的研究和發(fā)展打下了堅實的基礎。本系在微納米和微機電系統(tǒng)如微泵、微傳感器、微加速度計等一系列微器件的設計、制造、工藝、測試以及基礎理論等方面進行了深入的研究,其它的研究領域還有:微陀螺和微慣導系統(tǒng)、微光學器件、微測量技術、小飛機、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星、納米摩擦學以及光盤機讀寫頭微型機構等。

微機電系統(tǒng)工程主要課程：微機電工程材料、微機電器件與系統(tǒng)、微機械學、微納米測量與測試技術、微細加工技術、現(xiàn)代傳感技術、精密工程制造基礎和光存儲技術等。

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)是以機、電技術，尤其是微機械為基礎的，綜合多種學科領域技術的新型交叉學科。主要培養(yǎng)從事微機電系統(tǒng)工程方面的設計制造，生產(chǎn)運行，科技開發(fā)和技術經(jīng)濟管理方面的人才。本科畢業(yè)后能從事微機電系統(tǒng)工程方面的設計制造、生產(chǎn)運行、科技開發(fā)和技術經(jīng)濟管理方面工作。